冰刻机是干什么用的

 在线之家   2023-11-15 18:42   208 views 人阅读  0 条评论
摘要:

冰刻机的工序是先把需要加工的硅片置入真空低温环境中,然后再用水蒸汽凝结成冰,代替光刻胶覆盖在硅片上。而凝结成冰的水蒸汽,又称“冰胶”,这层冰胶在电子束的作用下,能够发挥与光刻胶

  冰刻机的工序是先把需要加工的硅片置入真空低温环境中,然后再用水蒸汽凝结成冰,代替光刻胶覆盖在硅片上。而凝结成冰的水蒸汽,又称“冰胶”,这层冰胶在电子束的作用下,能够发挥与光刻胶一样的作用,在硅片上蚀刻出电路图。

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